전자산업

전자 산업의 급속한 발전은 반도체 전공정 제조의 다이 소형화, 반도체 후공정에서의 칩 복잡성 증가, PCB의 부품 밀도 향상 등 부품의 지속적인 소형화에 의해 주도됩니다. 이러한 발전을 위해서는 사용되는 측정 및 모션 기술의 정확성이 지속적으로 향상되어야 합니다.
ETEL 위치 및 모션 컨트롤러 외에도 하이덴하인 엔코더를 갖춘 ETEL의 플랫폼은 이러한 애플리케이션에 탁월한 정확성과 성능을 제공합니다. NUMERIK JENA 및 RSF의 엔코더는 이러한 고급 솔루션 제공을 완성합니다.

반도체와 전자기기 제조를 위한 핵심 제품

위치결정 정밀도의 발전에 따라 높은 성능의 칩과 전자 어셈블리가 등장하고 있으며, 그에 따라 위치결정 정밀도가 더 높아지고 있습니다.

반도체 전공정 제조를 위한 엔코더

다이 제조를 위한 최적화

HEIDENHAIN의 개방형 리니어 엔코더는 반도체 전공정 제조 장비를 포함한 고속, 고정밀 장비에 최적화되어 있으며, 여기에는 장기 안정성과 설치 용이성이 확보되어 있습니다.

이러한 응용분야에서 베어링이 없는 모듈형 광학 앵글 엔코더 ERP 시리즈를 대형 중공 샤프트에 사용되며 최대 20,000rpm의 속도로 사용할 수 있습니다. 특히 낮은 질량과 관성 모멘트는 낮은 구동 토크에 적합하며, 반도체 제조 장비에 큰 이점이 됩니다.

ETEL은 단축부터 정밀한 7축 시스템 솔루션까지의 스테이지를 제공함으로써 반도체 제조 분야의 다양한 용도에 사용됩니다. 모션에 대한 ETEL 전문지식과 HEIDENHAIN 의 핵심 기술이 통합된 결과로 ±250 nm의 양방향 반복도와 같은 뛰어난 시스템 정밀도를 제공할 수 있습니다.

반도체 후공정 제조를 위한 엔코더

반도체 후공정 애플리케이션을 다양한 리니어 엔코더

반도체 후공정 애플리케이션을 위한 기계와 자동화 시스템은 여러 요구조건을 충족해야 합니다. HEIDENHAIN은 NUMERIK JENA 및 RSF와 함께 그러한 요구조건을 모두 충족하는 리니어 엔코더를 제공합니다. 뛰어난 정밀도 및 소형 제품에 이르기까지 모든 용도에 제품을 제공 드립니다.

반도체 후공정 애플리케이션에서의 고정밀 각도 측정

고정밀도 로터리 엔코더는 다이 부착 및 패키징과 같은 반도체 제조 분야에서 로터리 축의 정확한 위치결정에 필수적입니다. HEIDENHAIN은 ERP 및 ERO 모듈형 광학 앵글 엔코더 또는 MRP 앵글 엔코더 모듈이라는 두 가지 유형의 솔루션을 제공합니다. 이 모듈은 앵글 엔코더와 검증된 고정밀 베어링을 조합하여 사용자의 취급과 설치를 단순화합니다.

초정밀 애플리케이션을 위한 고성능 모션 시스템

ETEL은 다양한 모션 시스템을 제공합니다. 독립형 제품부터 고도로 통합된 플랫폼까지, 해당 솔루션은 반도체 장비 요구 사항에 최적화되어 있습니다. 따라서, 장비 제조업체는 핵심 기술 개발에 더 집중할 수 있습니다. ETEL의 고성능 모션 솔루션을 확인해 보시기 바랍니다.

전세계 SEMICON 전시회에서공개된 최신 기술을 마이크로 사이트를 통해 확인 할수 있습니다.

하이라이트 보기

전자기기 어셈블리 및 PCB 제조용 엔코더

Hi dynamic 공정용 개방형 리니어
엔코더

전자기기 제조 사업에서 PCB와 어셈블리 부품 실장에 있어 공정속도는 매우 중요합니다. HEIDENHAIN의 LIC와 LIDA 개방형 리니어 엔코더는 높은 정밀도 및 구동속도를 충족해 그러한 요구조건에 적합합니다. NUMERIK JENA와 RSF의 엔코더는 주문자 사양 솔루션을 제공합니다.

정밀 로터리 축 위치결정

ERO와 ERA 모듈식 앵글 엔코더는 전자기기 어셈블리 및 PCB 제조장비의 대형 로터리 축에 적합합니다. MRP 앵글 엔코더는 앵글 엔코더와 고정밀 베어링을 조합해 기구사양이 특정된 제품을 제공하여 사용자가 설치 및 사용하기 간편합니다. 이러한 제품은 에어 베어링 축의 대안으로 사용할 수 있으므로 비용이 많이 소요되는 설치 후 조정 작업이 필요 없습니다. 다른 하나의 대안은 RSF의 MCR 15 시리즈 앵글 엔코더로서, 전기모터에 최적화된 제품입니다.

ETEL의 고속 모션

XY 스테이지, 다축 시스템, 회전 테이블 등 ETEL은 모든 기계 설계 변형에 대해 DD모터 기술을 갖춘 완벽한 모션 시스템 솔루션을 제공합니다. 정확하고 역동적인 시스템을 통해 장비 제조업체는 2DOF를 가진 시스템부터 복합 회전축과의 조합을 갖춘 시스템에 이르기까지 원하는 모든 모션을 구현할 수 있습니다. ETEL 솔루션은 컴팩트한 장비 설계에 최적화되어 있습니다.

첨단 LED와 디스플레이 기술을 위한 엔코더

고성능 디스플레이를 위한 정밀 리니어 위치 결정

스마트 폰의 컴팩트 터치스크린부터 UHD 와이드스크린 TV에 이르는 울트라 플랫 화면의 높은 해상도와 선명한 컬러는 LED 기술을 위한 제조설비의 위치결정 정밀도에 의해 실현된 것입니다. 전자산업의 다른 분야와 마찬가지로 HEIDENHAIN, NUMERIK JENA와 RSF의 개방형 리니어 엔코더는 이러한 위치결정 정밀도를 제공합니다.

로터리 축을 위한 최대 정밀도

ERO, ERP, ECA 및 ERA 시리즈 모듈형 광학 앵글 엔코더는 LED와 디스플레이 생산에 있어 회전 동작에 대한 모든 정밀도, 동적 성능 및 신뢰성 요구사항을 충족합니다. 귀하의 애플리케이션에 완벽하게 일치하는 특성을 지닌 엔코더를 항상 찾으실 수 있습니다.

엔코더 사용 기간 중 변함없는 높은 정밀도:
HSP 1.0 신호처리 ASIC

하이덴하인 기술 관련 백서를 확인하세요.

개방형 리니어 엔코더 및 신뢰성 높은 측정

이 백서에는 HEIDENHAIN이 엔코더의 고정밀도를 확보하는 방법을 설명합니다.
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전자산업의 리니어 모터용 엔코더

엔코더는 리니어 모터 성능에 중대한 역할을 합니다. 이 백서에 그에 관한 정보가 제공됩니다.
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진공환경을 위한 리니어 엔코더

진공기술은 전자 및 박막 기술 산업에서 핵심 역할을 합니다. 이 백서는 리니어 엔코더가 이러한 요구조건을 어떻게 충족하는지 설명합니다.
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인터페이스, 신호 및 인터페이스 장치

엔코더와 후속 전자기기 사이의 연결점인 인터페이스는 신뢰성 높은 정보 교환의 보장이 필요합니다. 이 브로셔에 그에 관한 정보가 소개됩니다.
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